半導体デバイスの高性能化に貢献「令和２年度全国発明表彰　発明賞」を受賞低比重・低熱膨張コージェライト材料の開発
京セラ株式会社（社長：谷本 秀夫、以下京セラ）は、半導体デバイスの製造に使用される半導体露光装置※のウェハーステージ用に、京セラが独自に開発・実用化した低比重・低熱膨張コージェライト（特許第5762522号）について、公益社団法人発明協会が主催する「令和2年度全国発明表彰 発明賞」を受賞しましたので、お知らせいたします。<br />
本表彰は、日本の科学技術の向上と産業の発展に寄与することを目的に、技術的に優れた進歩…
Source: ＰＲ最新情報