全自動薄膜検査装置「Xtrology」を発売
HORIBAグループで半導体事業を担う株式会社堀場エステック(京都市南区上鳥羽鉾立町11-5 代表取締役社長 堀場 弾)は、全自動薄膜検査装置「Xtrology(エクストロロジー)」を10月15日に発売します。<br />
近年、半導体産業の技術進展を背景に製造プロセスにおける検査項目が増加し、要求レベルも高まり続けています。「Xtrology」は、分光エリプソメトリー(※1)・ラマン分光(※2)・フォトルミネッセンス(※3)という3つの分析手法による多…
Source: ＰＲ最新情報